フォトレジストスピンコータ

CFD解析により、ウェハ裏面汚染を低減した設計が可能です。アンシスのソフトウェアは、形状を調整したり、排気やパージの流れの影響を容易に調べることができます。入念なテストやプロトタイプを作製することなく、システムパフォーマンスを改善する洞察が得られます。
 流れ線図により、フォトレジストスピンコータ中で、汚染を引き起こす循環流領域が存在することがわかります。
流れ線図により、
フォトレジストスピンコータ中で、
汚染を引き起こす循環流領域が
存在することがわかります。