ウェハリンス

流れのモデル化により、優れたリンシングを達成するようにジェットの配置と方向を修正したり、優れた流れ分布のためにリンス槽構造を最適化できます。アンシスのCFDツールを使用することで、低コストかつ最小リスクでプロセスの問題を特定し、設計をテストすることができます。
 ウェハ表面の剪断応力から、ウェハリンス槽におけるクリーニングが均一でないことがわかります。
ウェハ表面の剪断応力から、
ウェハリンス槽におけるクリーニングが
均一でないことがわかります。