縦型炉/オーブン解析

縦型炉やオーブンの熱均一性をCFDで予測することで、ウェハ面内あるいはウェハスタック内の熱ストレスを定量評価できます。
パラメトリックなモデル化機能により、ウェハ直径やスタックの間隔、スループット速度を変更することの影響を素早く求めることができ、
欠点のない炉に最適化することができます。
 拡散酸化炉のウェハスタックにおける熱勾配により、昇温中の加熱が均一でないことが明らかになります。
拡散酸化炉のウェハスタックにおける
熱勾配により、昇温中の加熱が
均一でないことが明らかになります。