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アンシスのCFDソフトウェアは、CVD反応器のモデリングに要求される重要な物理、表面化学反応、多成分および熱拡散(ソレー効果)、自然対流、ノングレー表面間輻射伝熱、さらに完全圧縮流領域を含む機能を提供します。特別に強固なソルバーはモデルの性能を保証し、LPCVDに適した局所すべり境界条件を提供します。六面体と四面体要素を混合して構成したハイブリッドグリッドにより、モデルサイズを犠牲にすることなく、重要な詳細部の形状精度を保証することができます。
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 CVD反応器の基板上の堆積速度コンター図で、バッフル板細孔配置設計に起因する成膜速度分布の不均一性が明らかになります。 |
